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多晶硅敏感技术(连载九)
多晶硅敏感技术(连载九)
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:m987987
【摘 要】
:
多晶硅敏感技术(连载九)王善慈(东北传感技术研究所)SensingTechnologyBasedonPolycrystallineSilicon(SerialNine)¥WangShanci(NortheastChinaResearchInstitu...
【作 者】
:
王善慈
【机 构】
:
东北传感技术研究所
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
多晶硅
敏感技术
非晶态半导体
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多晶硅敏感技术(连载九)王善慈(东北传感技术研究所)SensingTechnologyBasedonPolycrystallineSilicon(SerialNine)¥WangShanci(NortheastChinaResearchInstitu...
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