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[期刊论文] 作者：茅盘松,周百令,吴绍夫,万德钩,
来源：传感器技术 年份：1996
详细介绍了双框架结构的硅微型机械振动陀螺的工作原理及工艺，设计并试制出了挠性轴厚度为０．８μｍ的三种不同尺寸的双框架结构的硅微型机械振动陀螺的样品，其机械结构的主要尺寸误差......
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