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[会议论文] 作者:姜涛, 严成峰, 施尔畏,, 来源: 年份:2004
碳化硅(SiC)晶体作为第三代半导体材料,由于其具有宽禁带、高临界击穿场强、高饱和电子漂移速度、高热导率等优秀的物理性能和电学性能1,在制备高温、高频、大功率以及抗辐射...
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