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[期刊论文] 作者：丰田裕康,黄子伦,
来源：微电子学 年份：1981
超大规模集成电路与大规模集成电路在结构及工艺方面没有多大差别,即使在制造技术上超大规模集成电路部分地采用了电子束曝光及干法工艺等新技术,但在制作方式上与大规模集...
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