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[期刊论文] 作者：张荣,施洪涛,郑有,于是东,何宇亮,刘湘娜,
来源：高技术通讯 年份：1994
提出了热丝化学气相淀积法，在低温（６００－７５０℃）下成功地生长出硅上单晶碳化硅薄膜，Ｘ光衍射谱、喇曼光谱证实了外延膜的单晶结构，光致发光测量证明外延ＳｉＣ材料室温下可稳定发射可见光。A hot......
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