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[期刊论文] 作者：付丹扬,龚建超,雷丹,黄嘉丽,王琦琨,吴亮,
来源：人工晶体学报 年份：2020
氮化铝(AlN)具有超宽禁带宽度(6.2 eV)、高热导率(340 W/(m·℃))、高击穿场强(11.7 MV/cm)、良好的紫外透过率、高化学和热稳定性等优异性能,是氮化镓基(GaN)高温、高频...
[期刊论文] 作者：贺广东, 王琦琨, 雷丹, 龚建超, 黄嘉丽, 付丹扬, 吴,
来源：人工晶体学报 年份：2019
本文采用物理气相传输法(PVT)及同质外延工艺,在自发生长的6 mm×7 mm AlN籽晶片上,通过4次迭代,成功生长出高质量1英寸AlN单晶锭。将生长出的单晶锭经过切片、研磨和抛...
[期刊论文] 作者：李哲,张刚,付丹扬,王琦琨,雷丹,任忠鸣,吴亮,
来源：人工晶体学报 年份：2020
本文基于自主设计的氮化铝生长炉，开展了四组不同工艺条件下Al极性面氮化铝籽晶同质外延生长氮化铝单晶的生长特征及其结晶质量表征研究。研究结果表明：不同工艺条件下生长的晶体的拉曼图谱E2（high）特征峰峰位表明晶体内部均存在较小的拉应力；坩埚顶部在相对较高温度......
[期刊论文] 作者：雷丹,王琦琨,黄嘉丽,贺广东,龚建超,付丹扬,吴亮,
来源：半导体光电 年份：2019
使用FEMAG晶体生长模拟仿真软件以及自主开发的PVT法有限元传质模块对全自动、双电阻加热物理气相沉积炉开展了AlN晶体生长工艺过程中不同坩埚埚位对温度场、过饱和度场及烧结体升华速率等影响的模拟仿真分析研究。模拟仿真结果表明: 在给定工艺条件下, 坩埚埚......
[期刊论文] 作者：张刚,付丹扬,李哲,黄嘉丽,王琦琨,任忠鸣,吴亮,
来源：人工晶体学报 年份：2021
借助专业长晶模拟软件FEMAG和自主开发的对流、传质、过饱和度及生长速率预测等有限元模块研究了物理气相传输法（PVT）同质外延生长氮化铝（AlN）单晶工艺时的初始传热及传质过程，并分析了不同形状籽晶台对生长室内的温度场、流场、过饱和度及生长速率的影响。温度场模......
[期刊论文] 作者：刘欢,朱如忠,龚建超,王琦琨,付丹扬,雷丹,黄嘉丽,吴亮,
来源：人工晶体学报 年份：2020
采用直流反应磁控溅射与高温退火工艺大批量制备了膜厚为200 nm、400 nm及800 nm的2英寸蓝宝石基氮化铝模板,并对高温退火前后不同膜厚模板使用各种表征手段进行对比分析。结...
[期刊论文] 作者：黄嘉丽,王琦琨,贺广东,雷丹,付丹扬,龚建超,任忠鸣,邓康,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2019
使用FEMAG晶体生长模拟仿真软件及自主开发的PVT法有限元多相流传质模块对用自主设计的全自动、双电阻加热气相沉积炉同质外延生长AlN单晶初期温度场及传质过程进行了模拟仿...
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