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[学位论文] 作者:付伍君,, 来源: 年份:2013
MgO薄膜具有很好的热稳定性、化学稳定性和电绝缘性能,且与常见的功能性薄膜材料如PZT、YBCO等具有非常接近的晶格常数,因此常作为Si衬底和功能薄膜材料之间的过渡层,起到缓解晶......
[期刊论文] 作者:付伍君, 来源:数字通信世界 年份:2016
ZnO基薄膜晶体管以其低制备温度、高迁移率、对可见光透明和环境友好等优点,愈来愈受到研究者的关注,被认为是最有希望应用于未来的TFT-LCD,特别是TFT-OLED平板显示领域的下...
[期刊论文] 作者:杨健苍, 孟祥钦, 付伍君, 杨成韬,, 来源:压电与声光 年份:2013
采用直流反应磁控溅射法、利用ScAl合金靶(含Sc质量分数10%)制备了一系列不同衬底温度的Sc掺杂AlN(ScAlN)薄膜.利用X线衍射仪、原子力显微镜和铁电测试仪的电流-电压(I-V)模块研究了......
[期刊论文] 作者:付伍君,孟祥钦,朱博,张遥,杨成韬, 来源:电子元件与材料 年份:2012
采用直流反应磁控溅射法在Si衬底上引入ZnO缓冲层制备了沿(200)晶面择优取向生长的MgO薄膜,然后分别采用快速退火和常规退火两种不同的方式对MgO薄膜进行晶化处理。利用X射线衍...
[期刊论文] 作者:付伍君,孟祥钦,朱博,张遥,刘浩瀚,杨成韬,, 来源:压电与声光 年份:2013
采用直流反应磁控溅射法以ZnO为缓冲层在Si衬底上制备了AIN/ZnO薄膜。利用台阶仪、X线衍射(XRD)仪和原子力显微镜(AFM)对不同溅射功率下制备的AlN/ZnO薄膜的厚度、结构及表面形貌进......
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