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[期刊论文] 作者：任临福,张玉书,
来源：微细加工技术 年份：1989
一、引言随着大规模集成电路和集成光学的不断发展,对加工技术的要求越来越高,如目前提出图形的精细化,过程低温化,掺杂薄层化及可控性优化等,而准分子激光器则以它能量...
[期刊论文] 作者：赵方海,任临福,
来源：微细加工技术 年份：1994
本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。更多还原...
[会议论文] 作者：张玉书,丁涛,任临福,
来源：第六届全国电子束离子束光子束学术年会 年份：1991
...
[期刊论文] 作者：张玉书,丁涛,任临福,
来源：中国激光 年份：1992
本文报告的是利用准分子激光诱导湿刻和光刻技术相结合的方法,实现了对GaAs的图形转换。发现由GaAs表面的金膜、水溶液和GaAs构成的系统中,金膜不仅起了光掩蔽的作用,而且还...
[期刊论文] 作者：邓希敏,任临福,杨文彦,
来源：半导体光电 年份：1981
一、引言GaAs器件和Si器件一样,也常常需要一种钝化膜来提高器件的可靠性,或是作为杂质选择扩散的掩膜。目前GaAs器件常用的介质膜有Si_3N_4膜、SiO_2膜、Al_2O_3膜和GaAs自...
[期刊论文] 作者：李月,徐霏,田小建,任临福,
来源：吉林大学自然科学学报 年份：1999
探讨通用示波器技术指标的检定方法及其在时域测量中的扩展应用....
[期刊论文] 作者：张玉书,张庆有,任临福,石景龙,
来源：吉林大学自然科学学报 年份：1988
利用准分子激光的光解剥离即APD(Ablative Photodecomposition)效应,可直接对某些材料实施刻蚀加工,因而在半导体微细加工领域中具有重要意义。适合于准分子激光直接APD刻蚀...
[期刊论文] 作者：任临福,张玉书,张庆有,石景龙,
来源：微细加工技术 年份：1989
一、引言随着大规模集成电路和集成光学的不断发展,对加工技术的要求越来越高,如目前提出图形的精细化,过程低温化,掺杂薄层化及可控性优化等,而准分子激光器则以它能量高、...
[期刊论文] 作者：单江东,李伊荇,张德忱,任临福,郭树旭,
来源：实验技术与管理 年份：2001
本文介绍吉林大学成立电子信息科学基础实验中心的经验，将原来分散的电子线路等4个基础课实验室，集中成立实验中心，做到实行校系两级管理，资金集中投入，仪器设备集中使用，由教学经......
[期刊论文] 作者：赵方海,王庆亚,任临福,郑伟,马力,张玉书,
来源：吉林大学自然科学学报 年份：1994
准分子激光剥离金刚石薄膜赵方海，王庆亚，任临福，郑伟，马力，张玉书（集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子工程系，长春１３００２３）关键词准分子激光器，光解剥离，阈值金刚石材......
[期刊论文] 作者：赵方海,任临福,王庆亚,马力,郑伟,张玉书,
来源：微细加工技术 年份：1994
本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。In this paper, the experimental results of excimer...
[期刊论文] 作者：祝亚琴,马力,任临福,石景龙,戴国瑞,张玉书,
来源：吉林大学自然科学学报 年份：1993
本文报导了用XeCl激光器实现向半绝缘GaAs衬底掺Zn的实验结果,给出了Zn原子的纵向分布以及掺杂后方块电阻与激光脉冲次数的关系曲线,同时在相同衬底上采用气体源进行了掺Si实...
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