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[期刊论文] 作者：黄克铃,任晋成,
来源：上海半导体 年份：1991
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[期刊论文] 作者：黄克玲,任晋成,
来源：微细加工技术 年份：1991
国内引进了不少离子注入机,维修问题日渐重要。对其损坏部件,用国产配件进行替换,不乏为又快又省的维修方法。本文叙述了八年多来,我们在维修IM—200M型离子注入机的实践中,...
[会议论文] 作者：黄克铃,关安民,任晋成,
来源：中国电工技术学会第四届电子束离子束学术年会第二届电子束焊接学术年会 年份：1991
国内引进了不少离子注入机，维修问题日渐重要，对其损坏部件，用国产配件进行替换，不乏为又快又省的维修方法。该文叙述了九年多来，作者在维修ＩＭ－２００Ｍ型离子注入机的实践中，对损坏的吸极电源......
[期刊论文] 作者：黄克铃,任晋成,孙少康,周荣祥,经文春,关安民,
来源：微细加工技术 年份：1991
国内引进了不少离子注入机,维修问题日渐重要。对其损坏部件,用国产配件进行替换,不乏为又快又省的维修方法。本文叙述了八年多来,我们在维修IM—200M型离子注入机的实践中,...
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