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[期刊论文] 作者：田扬超,伊福庭,等,
来源：物理 年份：2002
简述了微电子机械系统的起源和特点，介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术，对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明，并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统......
[期刊论文] 作者：刘刚,田扬超,伊福庭,彭良强,
来源：物理 年份：2002
简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机...
[会议论文] 作者：刘泽文,刘理天,李志坚,伊福庭,
来源：第六届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1999
该文给出了将IC工艺与LIGA工艺相结合，在硅基材料上以镍金属为结构材料制作高性能微加速度传感器的研究结果。由于采用了金属材料，器件在较小的尺寸下可获得较高的灵敏度。采用特殊的结构形式，可使器件处于最佳阻尼状态。制作过程主要包括厚胶光学光刻，淀积电镀种子......
[期刊论文] 作者：孙加兴,叶甜春,陈大鹏,谢常青,伊福庭,
来源：半导体学报 年份：2004
采用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅，一次曝光，分步显影，基本解决了不同胶层间互融的问题．该方法制作效率高，所制作的T型栅形貌好，头脚比例可控，基本满足器件制作要求．...
[会议论文] 作者：刘泽文[1]刘理天[1]李志坚[1]伊福庭[2],
来源：第六届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1999
该文给出了将IC工艺与LIGA工艺相结合，在硅基材料上以镍金属为结构材料制作高性能微加速度传感器的研究结果。由于采用了金属材料，器件在较小的尺寸下可获得较高的灵敏度。采用......
[期刊论文] 作者：陈大鹏,叶甜春,谢常青,李兵,董立军,胥兴才,赵玪莉,韩敬东,彭良强,伊福庭,韩勇,张菊芳,
来源：核技术 年份：2002
光刻技术是推动集成电路制造业不断向前发展的关键技术 ,X射线光刻技术是下一代光刻技术的一种 ,具有产业化的应用前景。掩模技术是X射线光刻技术的难点 ,本文报告了国内利用...
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