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[期刊论文] 作者：伊藤,纠次,,
来源：半导体设备 年份：2004
片子加工的评价从目前状态看,电子计算机主要依靠硅单片集成电路,而且还将持续很长一段时间。其理由是比较简单的,比硅持性好的半导体材料在近期是不可能出现的,以电子计算...
[期刊论文] 作者：伊藤纠次,管怌恺,,
来源：半导体情报 年份：2004
在砷化镓场效应晶体管中的应用如图1所示,GaAs材料的电子迁移率高,在较低电场下具有高的漂移速度,此外与硅相比其禁带宽度宽,因此,GaAs作为微波用的材料(从可以做开关速度快...
[期刊论文] 作者：伊藤纠次,石田哲夫,吴明华,
来源：微细加工技术 年份：1988
在硅LSI中有以高速率为主要特点的双极型和以高密度化为主要目的的MOS型两类。在双极型LSI中,除纵向结构的BPT(结型晶体管)必需集成外,在元件间的隔离上主要是使用简便的外...
[期刊论文] 作者：伊藤纠次,饶德祥,田村英男,大久保靖,
来源：半导体学报 年份：1981
目前,离子注入技术虽已相当广泛地用于半导体器件的科研和生产中,然而离子注入造成的晶格损伤的恢复和注入杂质的高效率激活方法却还留下一些有待研究的课题.其中,脉冲电子束...
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