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[学位论文] 作者：何婉婧,
来源： 年份：2015
FBAR微加速度计是微惯性技术与RF MEMS技术交叉的新型电声谐振式微加速度计,可望满足对微加速度计性能、可靠性和可制造性的综合要求。本文旨在解决FBAR微加速度计的4个关键基础问题:力敏机理、结构设计、温度补偿和集成制造工艺,为FBAR微加速度计的开发奠定坚......
[期刊论文] 作者：高杨,周斌,何移,何婉婧,,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
薄膜体声波谐振器（FBAR）的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低...
[期刊论文] 作者：高杨,周斌,何移,何婉婧,
来源：强激光与粒子束 年份：2004
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降...
[期刊论文] 作者：李君儒,高杨,何婉婧,蔡洵,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
为了获得高保真的电容式RF MEMS开关自驱动失效阈值功率模型,必须弄清开关膜片上电场分布的边缘场效应。由于受到边缘场效应的影响,在计算开关自驱动失效阈值功率时,不能使用...
[期刊论文] 作者：何婉婧,高杨,李君儒,黄振华,,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
薄膜体声波谐振器(FBAR)力传感器作为一种新型的谐振式传感器,力敏特性是其设计原理。以FBAR微加速度计为例研究了工作在纵波模式,采用具有纤锌矿结构的AlN作为压电薄膜的FBA...
[期刊论文] 作者：李君儒,高杨,何婉婧,蔡洵,
来源：强激光与粒子束 年份：2004
为了获得高保真的电容式RF MEMS开关自驱动失效阈值功率模型,必须弄清开关膜片上电场分布的边缘场效应.由于受到边缘场效应的影响,在计算开关自驱动失效阈值功率时,不能使用...
[期刊论文] 作者：何婉婧,高杨,李君儒,黄振华,
来源：强激光与粒子束 年份：2004
薄膜体声波谐振器(FBAR)力传感器作为一种新型的谐振式传感器,力敏特性是其设计原理.以FBAR微加速度计为例研究了工作在纵波模式,采用具有纤锌矿结构的AlN作为压电薄膜的FBAR...
[期刊论文] 作者：高杨,刘婷婷,李君儒,何婉婧,
来源：半导体光电 年份：2014
简要介绍了基于故障物理的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems, 微电子机械系统)可靠性研究方法和技术路线。以电容式RF MEMS开关为例, 介绍了基于故障物理的MEMS可靠性研究方法的主要步骤, 包括: 采用多物理场3D有限元模型研究MEMS器件的行为, 应用MEMS器......
[期刊论文] 作者：高杨,何婉婧,李君儒,黄振华,蔡洵,,
来源：压电与声光 年份：2015
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器...
[期刊论文] 作者：高杨,周斌,何移,李君儒,何婉婧,,
来源：测控技术 年份：2014
传统呼啦圈为实体产品,体积大,不易随身携带,使用不当有可能损害身体健康.设计了一种基于微加速度计的新型虚拟呼啦圈,能够将腰部的扭动转化为同步的LED点阵屏转动,采用带有...
[期刊论文] 作者：高杨,何婉婧,李君儒,黄振华,蔡洵,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2015
针对＂FBAR（薄膜体声波谐振器）-梁＂结构悬臂梁厚度不足、＂嵌入式FBAR＂结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型＂膜片上FBAR（FBAR-on-diaphragm）＂结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化......
[期刊论文] 作者：何移, 高杨, 周斌, 李君儒, 何婉婧,,
来源：太赫兹科学与电子信息学报 年份：2014
机械应力和自热效应是影响空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)功率容量的主要因素。采用ANSYS对声波纵向振荡产生的机械应力进行了结构仿真,发现应力主要集中在空气腔结构附近;对...
[期刊论文] 作者：高杨,何移,周斌,何婉婧,李君儒,,
来源：压电与声光 年份：2014
牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器（FBAR）工艺中形成空腔结构的关键步骤,牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据空腔型FBAR中气隙的功能和结构特点,提出了自...
[期刊论文] 作者：李君儒, 高杨, 何婉婧, 蔡洵, 黄振华,,
来源：强激光与粒子束 年份：2014
电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此很难建立开关自锁失效阈值功率的高保真预测...
[期刊论文] 作者：周斌,高杨,何移,李君儒,何婉婧,,
来源：微纳电子技术 年份：2013
由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计。使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18～1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,...
[期刊论文] 作者：高杨,周斌,何移,何婉婧,李君儒,,
来源：压电与声光 年份：2015
随着薄膜体声波谐振器（FBAR）工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿...
[期刊论文] 作者：高杨, 何移, 周斌, 李君儒, 何婉婧,,
来源：测控技术 年份：2014
传统的饮水监护装置使用地点固定,不具有饮水提醒功能。设计了一种基于智能手机的饮水监护装置,能够通过智能手机更新饮水信息并提醒饮水。饮水量检测装置通过压力传感器检测...
[期刊论文] 作者：周斌,高杨,何移,李君儒,何婉婧,,
来源：压电与声光 年份：2014
薄膜体声波谐振器（FBAR）的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移，对于FBAR滤波器而言，这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化，降低其在......
[期刊论文] 作者：何移,高杨,周斌,何婉婧,李君儒,,
来源：压电与声光 年份：2014
薄膜体声波谐振器（FBAR）电极层和压电层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素,确定各层的厚度和材料可得到期望的谐振频率。通过推导FBAR纵向运动应力方程,得到各层厚度、材料......
[期刊论文] 作者：何婉婧,高杨,李君儒,黄振华,蔡洵,,
来源：太赫兹科学与电子信息学报 年份：2015
研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝（AlN）薄膜体声波谐振器（FBAR）检测元件集成的FBAR 微加速度计表头的惯性力敏特性.采用有限元（FEA）静力学仿真,得到惯性力载荷作用下......
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