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[学位论文] 作者：余希达,,
来源：广东工业大学 年份：2020
近年来,随着微电子封装技术要求的提高以及高新技术的不断更新,传统微电子制造封装设备技术面临巨大挑战。其中,封装技术要求的提升对高动态工况下封装设备的静动态稳定性、精度等各方面性能都有严峻的考验。本文针对运动平台系统研发过程中的相关问题,设计搭建......
[期刊论文] 作者：余希达,高健,
来源：组合机床与自动化加工技术 年份：2020
为减小运动定位平台XYθ方向的振动误差及耦合,提高平台定位精度,提出了一种基于神经网络前馈PID解耦控制算法的定位平台系统设计。搭建了由高性能X、Y方向直线电机、θ方向...
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