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[会议论文] 作者:胡振宇,張淑美,莊賦祥,余濟美,蔡裕勝,陳冠志, 来源:第十四届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份:2014
本研究以不同電位相位差(180°)之雙電極推拉式電漿激發化學氣相沉積(Push-PullPECVD)法沉積二氧化鈦薄膜(如圖1),利用氬氣(20 sccm)輸送四異丙基鈦酸酯(Ti(OC3H7)4)之蒸氣,以氧氣(20 sccm)當電漿激發氣體產生反應,沉積二氧化鈦觸媒薄膜於不銹鋼及玻璃基板上,主要改......
[会议论文] 作者:胡振宇[1]張淑美[2]莊賦祥[1]余濟美[3]蔡裕勝[1]陳冠志[1], 来源:第十四届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份:2014
  本研究以不同電位相位差(180°)之雙電極推拉式電漿激發化學氣相沉積(Push-PullPECVD)法沉積二氧化鈦薄膜(如圖1),利用氬氣(20 sccm)輸送四異丙基鈦酸酯(Ti(OC3H7)4)之蒸...
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