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[期刊论文] 作者：王成,周新文,侯令涛,周俊,李伟,吴干德,刘义稳,明莉,潘家,
来源：纳米科技 年份：2013
采用电子束反应蒸发金属铪、APS离子辅助反应蒸发氧化铪、RF离子辅助反应蒸发氧化铪三种方式制备了单层HfO2薄膜，对样品的光学性能、结构特性以及抗激光损伤特性进行研究，结果...
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