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[学位论文] 作者:侯智昊,
来源: 年份:2021
磺胺类抗生素在我国消耗量大,在多种环境介质中屡有检出报道,其中水环境的检出频率最高。污水厂中磺胺类抗生素受限于水处理工艺,无法得到有效的降解,这成为该污染物在环境中迁移转化的源头。二氧化氯作为一种绿色消毒剂,常用于优质水源水的消毒工艺,具备高氧化......
[期刊论文] 作者:侯智昊, 刘泽文, 李志坚,,
来源:光学精密工程 年份:2009
对适用于DC~30GHz频率的并联接触式RF MEMS开关的设计与制造进行了研究。利用低应力电镀Au桥膜作为上电极,实现了接触电极之间的Au-Au接触。使用BorofloatTM玻璃作为衬底,并用...
[期刊论文] 作者:侯智昊, 赵雪莹, 王增智,,
来源:微处理机 年份:2019
基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利用在Pyrex玻璃上淀积Au薄膜作为固定电极,通...
[期刊论文] 作者:侯智昊,朱锋,郁元卫,朱健,,
来源:固体电子学研究与进展 年份:2012
设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关。为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容。为了获得可靠的金属接触,设计...
[期刊论文] 作者:侯智昊,朱锋,郁元卫,朱健,
来源:纳米技术与精密工程 年份:2004
设计并制造了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,在RF MEMS开关的输入、输出端口使用细长型的接触端,以降低输入、输出端口的...
[期刊论文] 作者:侯智昊,朱锋,郁元卫,朱健,,
来源:纳米技术与精密工程 年份:2012
设计并制造了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,在RF MEMS开关的输入、输出端口使用细长型的接触端,以降低输入、输出端口的...
[期刊论文] 作者:杜国平,朱健,郁元卫,侯智昊,,
来源:固体电子学研究与进展 年份:2010
提出了一种横向接触式RF MEMS开关,采用金属叉指结构进行驱动。通过结构建模和性能仿真,对叉指结构进行了优化,提高了机械性能,减小开关的尺寸。通过加大横向接触面积,降低接...
[期刊论文] 作者:胡光伟,刘泽文,侯智昊,李志坚,,
来源:传感技术学报 年份:2008
设计并制备了一种低电压的静电驱动接触式单刀四掷(SP4T)RFMEMS开关。单元开关采用以低应力氮氧化硅(SiON)作为桥膜的双端固定桥式结构,并利用附着的金层形成接触结构。整个SP4T......
[期刊论文] 作者:胡光伟,刘泽文,侯智昊,李志坚,,
来源:光学精密工程 年份:2008
对介质桥串联接触式RFMEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种......
[期刊论文] 作者:侯智昊,刘泽文,胡光伟,刘理天,李志坚,,
来源:传感技术学报 年份:2008
介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串...
[期刊论文] 作者:侯智昊,刘泽文,胡光伟,刘理天,李志坚,,
来源:清华大学学报(自然科学版)网络.预览 年份:2009
为解决悬臂梁结构的射频微机电系统开关在残余应力的作用下会发生翘曲的问题,提出在悬臂梁的顶端引入斜拉梁的方法。使用Al/Au复合桥膜作为射频微机电系统开关的上电极,实现...
[期刊论文] 作者:胡光伟,刘泽文,张忠惠,侯智昊,李志坚,,
来源:微细加工技术 年份:2007
给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4...
[期刊论文] 作者:解旭东,侯智昊,李楠,岳翠霞,李雅,杨方社,
来源:生态环境学报 年份:2021
抗生素大量滥用已逐渐引起全球性生态问题,研究沉积物和土壤抗生素的污染分布及生态风险,对理解抗生素在复杂环境介质中的迁移转化及其风险管理和控制具有重要的理论意义。基于全面的文献研究,筛选出4大类共13种抗生素作为研究对象,整合从文献中提取的中国胡焕......
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