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[期刊论文] 作者：赵小林,丁桂甫,张明生,倪智平,毛海平,
来源：微细加工技术 年份：1999
阐述了采用ＮｉＦｅ合金作为微电机定子绕组的铁芯材料，完成了电磁型微电机从非嵌入式向常规的嵌入式定子绕组的转变，无论是从定性分析还是从最后的测量结果都证明在相同的条件下，嵌入式......
[期刊论文] 作者：高孝裕,周勇,雷冲,陈吉安,倪智平,毛海平,王志民,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2005
采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500 μm×900 μm×100 μm,线圈匝数...
[期刊论文] 作者：钱建国,章吉良,张明生,郭晓芸,毛海平,倪智平,
来源：微细加工技术 年份：2000
主要研究了不同的反应离子刻蚀条件 (氧基工作气体、刻蚀功率、工作气压等 )下所获得的不同刻蚀效果。当以O2 /CHF3 作为工作气体时 ,在一定的工艺条件下实现了高深宽比 (深...
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