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[会议论文] 作者：倪牮;张建军;曹宇;王先宝;耿新华;赵颖;,
来源：第十一届中国光伏大会暨展览会 年份：2010
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术，保持衬底温度在125℃沉积硅薄膜材料及太阳电池。首先实现了对本征非晶硅材料光学带隙的调节，光学带隙可以在1.82～1.88 eV之间...
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