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[会议论文] 作者：倪鹤南,惠春,徐爱兰,李敏,
来源：第六届中国纳米科技西安研讨会 年份：2007
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强；520nm的PZT薄膜晶粒均匀,排布有序,具有较......
[期刊论文] 作者：倪鹤南,吴良才,宋志棠,惠春,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2009
优化了金属纳米晶的制备工艺参数，得到了分布均匀，形状为球形，平均尺寸8nm，密度2．5×10^11／cm^2的Ag纳米晶。在此基础上，制备了包含Ag纳米晶的MOS电容结构。利用高频电容-电压（C......
[期刊论文] 作者：倪鹤南,惠春,吴良才,宋志棠,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2009
优化了Ni纳米晶的制备工艺参数,得到了分布均匀,形状为球形,平均尺寸5nm,密度2×1012/cm^2的Ni纳米晶。在此基础上,制备了包含Ni纳米晶的MOS电容结构。利用高频电容-电压...
[期刊论文] 作者：倪鹤南,吴良才,宋志棠,惠唇,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2012
研究了镍纳米晶镶嵌在MOS(金属—氧化物一半导体)电容结构中应用于非挥发性存储器的可行性.制备了镶嵌在氧化层中的镍纳米晶.采用电子束蒸发方法,再经过快速退火工艺,得到平...
Memory characteristics of an MOS capacitor structure with double-layer semiconductor and metal heter
[期刊论文] 作者：倪鹤南,吴良才,宋志棠,惠春,,
来源：半导体学报 年份：2009
An MOS (metal oxide semiconductor) capacitor structure with double-layer heterogeneous nanocrystals consisting of semiconductor and metal embedded in a gate oxi...
[期刊论文] 作者：倪鹤南,吴良才,宋志棠,惠唇,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2012
研究了镍纳米晶镶嵌在 MOS(金属—氧化物—半导体)电容结构中应用于非挥发性存储器的可行性。制备了镶嵌在氧化层中的镍纳米晶。采用电子束蒸发方法,再经过快速退火工艺,得到...
[期刊论文] 作者：倪鹤南,侯安州,李敏,徐爱兰,惠春,,
来源：压电与声光 年份：2009
采用改进的溶胶-凝胶（Sol—Gel）法，在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜，并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明，PZT薄膜具有（110）择......
[期刊论文] 作者：侯安州,惠春,徐爱兰,张艳丽,倪鹤南,,
来源：传感器与微系统 年份：2009
制作了一种新型的基于纳米晶PZT／石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜，形成PZrr／石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上......
[期刊论文] 作者：张国威,刘晓为,陈伟平,倪鹤南,王喜莲,
来源：中国机械工程 年份：2005
依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进...
[会议论文] 作者：吴义伯,倪鹤南,卢蔚君,徐爱兰,惠春,
来源：2007两岸三地博士生NBIC学术论坛 年份：2007
设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率变化成正比。这种检测方法......
[期刊论文] 作者：张国威，刘晓为，陈伟平，倪鹤南，王喜莲，ZhangGuowe,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：吴义伯,侯安州,倪鹤南,徐爱兰,惠春,任秋实,,
来源：半导体技术 年份：2007
基底集成的柔性微电极阵列（MEAs）从一个全新的角度演绎了植入式神经系统，对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯（parylene）为基底，制备出了用于神经接......
[期刊论文] 作者：吴义伯,邢玉梅,倪鹤南,徐爱兰,惠春,任秋实,李刚,,
来源：微细加工技术 年份：2008
采用聚对二甲苯（parylene）作为基底，通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计，并采用微机电加工工艺（MEMS），设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵......
[期刊论文] 作者：张宇峰,张国威,刘晓为,陈伟平,王喜莲,王蔚,倪鹤南,,
来源：哈尔滨工业大学学报 年份：2007
依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀...
[期刊论文] 作者：刘晓为,王蔚,田丽,傅建奇,陈小洁,倪鹤南,曾娟,,
来源：传感技术学报 年份：2006
设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片．采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时微沟道的散热作用，分析确定了芯片上各元件的......
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