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[学位论文] 作者：傅俊威,,
来源：电子科技大学 年份：2011
非晶硅（a-Si）薄膜由于具有良好的红外吸收性能、与标准硅集成电路兼容性好、能实现大规模生产等优点,而成为微测辐射热计研究的热点之一。在微测辐射热计的制备中采用非晶硅薄......
[期刊论文] 作者：邱毅娇,李伟,吴茂阳,傅俊威,蒋亚东,,
来源：电子器件 年份：2011
以SiH4和CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积（RF-PECVD）方法,通过改变CH4/SiH4流量比和射频功率制备非化学计量比氢化非晶碳化硅（a-Si1-xCx：H）薄膜。采用傅里叶转换红外...
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