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[学位论文] 作者：全旭松,,
来源：北京理工大学 年份：2015
LIGA和准LIGA加工工艺因其具有高深宽比、加工精度高等特点而被广泛应用于非硅MEMS器件加工中。SU-8胶是准LIGA工艺中常用胶，其表面的平整度直接影响其光刻精度。大尺寸（4吋）SU-...
[期刊论文] 作者：易聪之,全旭松,,
来源：设备管理与维修 年份：2016
神光-Ⅲ主机装置中大口径光学元件的面形检测的质量控制对激光打靶精度有直接的影响。基于近红外大口径相移平面干涉仪测量反射镜面形为探讨对象,阐述实验室反射镜面形检测过...
[期刊论文] 作者：张之敬, 于洋, 金鑫, 叶鑫, 全旭松,,
来源：北京理工大学学报 年份：2015
为预测加工误差对微靶装配精度的影响,开展了加工误差对硅臂刚度及应力分布的影响研究.基于PRO/E逆向工程对实际加工的硅臂样品建模,并搭建实验平台,建立微力与微位移关系的...
[期刊论文] 作者：全旭松,刘长春,陈海平,熊召,周海,,
来源：计算机辅助设计与图形学学报 年份：2017
针对高功率激光装置对成千上万光机组件的精密装校工艺数字化仿真验证的工程需求及精密装校实验室(OAB)的特殊环境,基于多视角序列图像三维重建技术,提出实现OAB三维重建的总体技术.首先结合实验室重建对象的特点,分析了满足于OAB三维重建的多视角序列图像采集......
[期刊论文] 作者：张政,全旭松,王辉,姚超,融亦鸣,,
来源：光学学报 年份：2017
从惯性约束核聚变(ICF)装置中具有重要作用的大口径激光传输反射镜出发,基于中国神光-Ⅲ主机装置的工程实践,分析了大口径激光传输反射镜夹持工艺的技术现状和难点,建立了大...
[期刊论文] 作者：李萌阳,曹庭分,袁晓东,张尽力,刘长春,易聪之,陈海平,全旭松,
来源：中国激光 年份：2019
参考面二阶项(离焦和像散)误差是导致拼接累积误差的主要因素,而参考面高阶误差会导致高频面形误差。分析由参考面误差二阶项和高阶项导致的拼接误差的规律。研究参考面误差导致任意两个子孔径拼接误差之间的关系。提出一种可以有效减小参考面高阶项误差对子孔......
[期刊论文] 作者：李萌阳,袁晓东,曹庭分,刘长春,张尽力,熊召,陈海平,全旭松,易聪之,,
来源：光学学报 年份：2018
偏折术中的几何结构标定误差是制约低阶面形测量精度的主要因素。从数学模型、理论模拟和实验三个方面分析了几何结构标定误差与低阶面形测量误差之间的关系。给出了表示几何结构标定误差与面形测量误差之间关系的数学模型,并通过模拟和实验对其进行了验证。结......
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