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[学位论文] 作者:农尚斌, 来源:江苏科技大学 年份:2008
通过在薄膜中掺杂一种或多种其他元素改善或提高薄膜性能,如硬度或热稳定性等,是一种提高薄膜性能的有效方法,而以TiN体系为基础,掺杂第三种或更多种元素以提高硬度硬度、抗氧化......
[期刊论文] 作者:农尚斌,喻利花,许俊华,, 来源:表面技术 年份:2008
为研究Si的加入及含量对薄膜结构和性能的影响,采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Si含量的n—Si—N复合膜,采用XRD、微力学探针和SEM研究了薄膜的微结构、力学性能和抗氧化性...
[期刊论文] 作者:喻利花,农尚斌,董师润,许俊华,, 来源:机械工程材料 年份:2008
用射频磁控溅射法在硅基片上制备了AlN、BN单层膜及AlN/BN纳米多层膜,采用X射线衍射仪、傅立叶变换红外光谱仪、小角度X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜和原子力显微镜等...
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