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[学位论文] 作者：冯声源,
来源： 年份：2009
微梁谐振器是微机械行业的重要组成部件,微电子封装后微梁与基体之间存在着一层气体薄膜。由于气体薄膜的尺度小且不能自由膨胀和压缩,它将随着微梁振动,并产生对微梁的附加质量和附加阻尼效应,从而影响结构的动力特征。当微梁高频振动时,气体内部的摩擦会引起......
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