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[期刊论文] 作者:冯建吴,, 来源:中国画画刊 年份:2014
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[期刊论文] 作者:卢春,冯建,吴子靖, 来源:机床与液压 年份:2020
为了提高一种6轴搬动机器臂运动方程逆解的准确性、易推广性,以一种实际工业机器臂模型为研究对象,建立实体的D-H模型,进行运动学正解仿真与分析,以及运动学逆解算法的改良和...
[期刊论文] 作者:杨国渝,冯建,吴建, 来源:微电子学 年份:2002
硅-硅键合晶片在机械减薄过程中产生的应力使硅片产生弯曲变形,这种变形在其后的加工过程中会使图形发生扭曲或位移,导致硅片加工中途报废.经过应力消除处理后可以顺利完成加...
[会议论文] 作者:陈俊,冯建,吴建,王大平, 来源:第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份:2007
探讨了埋氧层厚度对SOI片的形变影响。随着埋氧层厚度值的增大,其形变也相应变大,经过抛光工序后缓解了SOI片残余应力,减小了SOI片的形变,埋氧层厚度偏厚的SOI片,其warp值仍然偏大,顶层硅均匀性更差。为控制SOI片形变和均匀性,保障硅膜的挖槽及光刻对位等后工序提供了......
[期刊论文] 作者:冯建,吴建,吴雪,谭开洲,王斌,杨永晖,, 来源:微电子学 年份:2017
针对功率器件的抗辐射加固技术,从入射粒子对半导体材料的辐射损伤机理出发,设计了一种-150 V抗辐射P沟道VDMOS器件。该器件采取的抗辐射加固措施有:在颈区的上方形成局部厚...
[会议论文] 作者:王学华,马红权,黄小峰,王朝亮,冯建,吴振宁,南原,王蓬, 来源:第十五届冶金及材料分析测试学术报告会(CCATM2010) 年份:2010
利用碳硫分析仪,采用高频燃烧红外吸收法测定稀土合金中的碳,选择合适的称样量、钨和纯铁助熔剂,采用合适的工作曲线,获得了良好的分析结果。...
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