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[期刊论文] 作者:冯旭 郑万超 杨洪星 张伟才, 来源:电子乐园·上旬刊 年份:2021
摘要:由于区熔硅单晶在高频大功率电力电子器件、探测器等领域的应用,人们对区熔硅单晶内微缺陷进行了深入研究。在区熔硅单晶内,微缺陷主要分为A类微缺陷、B类微缺陷、C类微缺陷和D类微缺陷四种。这四种微缺陷主要受到温度、生长速率、杂质和氢元素的影响,且微缺陷......
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