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[期刊论文] 作者：马柳莺,刘华俏,
来源：中南矿冶学院学报 年份：1994
以硬质合金作为衬底，分别采用了化学涂层（ＣＶＤ）和物理化学涂层（ＰＣＶＤ）的技术涂复Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）－ＴｉＮ硬质膜，应用Ｘ射线光电子谱分析（ＸＰＳ）技术，研究涂层表面化学成分，元素化学状态，物相组成及基随深度的变化，涂层表面由Ｔｉ，Ｎ，Ｃ，Ｏ和......
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