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[会议论文] 作者:刘国汉[1]韩根亮[2]贺德衍[3], 来源:第九届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:2005
纳米SnO2材料由于具有很高的晶界密度及很大的比表面积从而有非常好的气敏特性.本研究采用溶胶-凝胶法可以在普通玻璃、硅片及石英等多种衬底材料上制备成薄膜.由于衬底形状...
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