【摘 要】
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纳米SnO2材料由于具有很高的晶界密度及很大的比表面积从而有非常好的气敏特性.本研究采用溶胶-凝胶法可以在普通玻璃、硅片及石英等多种衬底材料上制备成薄膜.由于衬底形状
【机 构】
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兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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纳米SnO2材料由于具有很高的晶界密度及很大的比表面积从而有非常好的气敏特性.本研究采用溶胶-凝胶法可以在普通玻璃、硅片及石英等多种衬底材料上制备成薄膜.由于衬底形状可多样,易掺杂,成本低,容易实现气敏元件的集成化,提高元件的气敏特性.本文阐述的用溶胶-凝胶法制备SnO2薄膜研究,采用SnCl2为原料,乙醇为溶剂,HCl为催化物.研究发现,制备的薄膜为非晶体结构.经热处理后,形成四方相的金红石结构.通过X射线衍射谱,扫描电子显微镜对样品的结构分析表明,随着退火温度的升高,薄膜的结晶程度逐渐提高、粒径逐渐增大;在溶剂中加入表面活性剂聚乙二醇后可以使薄膜表面形貌得到明显改善,晶粒分布变窄,空隙率大大增加,成为一种多孔结构.由于具备更大的比表面积.因而气敏特性会得到进一步改善.
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