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[会议论文] 作者：刘壮[1]马欣新[2],
来源：2009年空间环境与材料科学论坛 年份：2009
采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiOx薄膜。通过红外光谱(FTIR)，扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析射频功率、薄膜厚度等参数对SiOx薄膜组成、表面形...
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