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[会议论文] 作者：刘学超;严成锋;黄维;杨建华;施尔畏;,
来源：2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会 年份：2011
本文采用上海硅酸盐研究所自制的2英寸(1英寸=25.4 mm)半绝缘6H-SiC晶体开展了光导开关的制备与性能研究。采用PVT法制备了钒掺杂的6H-SiC晶体，晶体结晶质量的高分辨X射线...
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