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[期刊论文] 作者：刘弘逸,,
来源：现代仪器 年份：2009
提出硅基片生长薄膜的薄膜电阻的测试方法，利用方形四探针技术实现对较小硅基片上生长钴的薄膜电阻的测量，完成不同生长厚度下三片薄膜硅片的薄膜电阻测试工作，得出测试结果较可......
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