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[期刊论文] 作者：陶敦仁,刘日喜,
来源：微细加工技术 年份：2004
本文论述一项迄今未见文献报道的试验。作者将能量在20KeV以下的电子束退火试用于非离子注入的硅低频大功率晶体管和高频小功率晶体管,发现这种低能电子束辐照在某种条件下可...
[期刊论文] 作者：卢殿通,张通和,王大椿,王兴民,苏颖,王琦,陶仁敦,周楚材,刘日喜,
来源：微细加工技术 年份：1983
本文报道使用DT—1型电子束退火机对注砷单晶硅进行扫描电子束退火的实验研究。试验了电子束退火各种条件对结果的影响,以便选择较适宜的退火条件。用背散射法和微分电导法分...
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