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[会议论文] 作者：刘明海[1]胡希伟[2]邬钦崇[1]俞国扬[1],
来源：第九届全国等离子体科学技术会议 年份：1999
该文采用自治微波功率吸收的两维混合模型，数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量，重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（等离子体密度、等离子体位势）、以及基板表面......
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