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[会议论文] 作者：刘朋;陈为红;杨宝和;,
来源：'2003全国水处理技术研讨会暨第23届年会 年份：2003
本文以清华大学微电子学研究所VLSI用10mh超纯水系统的3年运行数据为例,介绍了笔者总结的重点参数模式曲线的日常管理方法,利用中央监控计算机自动采集数据的功能,结合EXCEL...
[期刊论文] 作者：刘朋, 陈为红, 杨宝和, 王水弟,,
来源：工业水处理 年份：2004
介绍了清华大学微电子学研究所VLSI用超纯水系统在设计过程中的一些特殊要求和遇到的重点问题。该系统在两级反渗透、电连续去离子、真空膜脱氧、高纯材料的使用、超痕量分析...
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