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[期刊论文] 作者：单学传, 前田龙太郎, 池原毅,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等...
[期刊论文] 作者：单学传,前田龙太郎,池原毅,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等...
[期刊论文] 作者：单学传, 前田龙太郎, 小林健, 张国雄,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
介绍了一种新颖的扫描原子力显微(SFM)方法,它可用于微机械垂直面的无损测量,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的.除操作灵活外,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身...
[期刊论文] 作者：单学传, 金玉丰, 王振峰, 前田龙太郎,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
由微型燃烧器、微型压缩机和涡轮组成的微型气体涡轮发动机有望成为微机电系统的能源系统.阐述了一种微型燃烧器的设计和加工.设计时力图增加流路的长度,其目的是减少微型燃...
[期刊论文] 作者：单学传,金玉丰,王振峰,前田龙太郎,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
由微型燃烧器、微型压缩机和涡轮组成的微型气体涡轮发动机有望成为微机电系统的能源系统,阐述了一种微型燃烧器的设计和加工,设计时力图增加流路的长度,其目的是减少微型燃...
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