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[期刊论文] 作者：北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司,,
来源：中国集成电路 年份：2007
1、简介rn我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺.rn由于PECVD淀积氮化硅膜时,在生长氮化硅膜作为减反射膜的同时生成了大量的原子...
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