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[会议论文] 作者：卓国海[1]柯培玲[2]汪爱英[2]赵运才[3],
来源：第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛 年份：2014
采用离子束复合磁控溅射技术在硬质合金上制备了不同缓冲层厚度的类金刚石薄膜.采用纯W靶作为溅射源,溅射气体为Ar,通过改变沉积时间(10、20、30min)来调节不同缓冲层厚...
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