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[期刊论文] 作者：薛胜方,梁庭,雷程,李志强,单存良,,
来源：计算机测量与控制 年份：2021
设计制作了一种集成信号调理电路的高温压阻式压力传感器,包含倒装式的压敏敏片、无源电阻温度补偿电路和信号调理电路组成;压敏芯片的制作采用SOI材料和MEMS标准工艺,温度补偿和信号调理电路采用高温电子元件;试验表明,无源电阻温度补偿具有显著的效果;此外,采......
[期刊论文] 作者：单存良,梁庭,雷程,王文涛,刘瑞芳,李奇思,
来源：电子测量技术 年份：2021
紫外激光具有波长短、速度快、加工精度高、热影响区小以及无损加工等优点,针对紫外激光加工过程中,不同参数对刻蚀结果产生不同的影响,实验中通过控制单一变量法,设计了扫描...
[期刊论文] 作者：张成印,雷程,梁庭,刘瑞芳,冯伟,单存良,薛胜方,
来源：微纳电子技术 年份：2021
依据高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)原理,设计了一种迁移区和收集区一体化式的微型化FAIMS气体传感器.电离区采用能量为10.6 eV的紫外灯对异丁烯气体进行电离,迁移区和收集...
[期刊论文] 作者：梁庭,薛胜方,雷程,王文涛,李志强,单存良,
来源：仪表技术与传感器 年份：2021
高频响MEMS压力传感器,常用于各项高速冲击波动态测试,能够完整地呈现和评估测试当场下的动态效果。高频高压高温芯片的加工与刚性封装外壳是高频响MEMS压力传感器的研究难点。文中通过设计仿真、工艺加工试验及封装测试,设计加工出一种齐平式倒装封装的高频响M......
[期刊论文] 作者：王文涛, 梁庭, 杨娇燕, 雷程, 李志强, 单存良, 薛胜,
来源：微纳电子技术 年份：2004
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[期刊论文] 作者：单存良,梁庭,王文涛,雷程,薛胜方,刘瑞芳,李志强,
来源：微纳电子技术 年份：2021
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器.根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电...
[期刊论文] 作者：王文涛,梁庭,雷程,李奇思,李永伟,李志强,单存良,
来源：微纳电子技术 年份：2020
玻璃通孔结构广泛应用于光通信、微电子机械系统(MEMS)封装、芯片三维垂直集成等领域.采用单一变量法详细研究了355 nm全固态紫外激光进行玻璃通孔加工时,各激光参数对通孔直...
[期刊论文] 作者：刘瑞芳,雷程,梁庭,王凯,李奇思,王文涛,李志强,李永伟,单存良,
来源：微纳电子技术 年份：2020
介绍了一种以石墨烯作为气敏材料的高灵敏度、快速响应的NH3气体传感器的制备与测试.该气体传感器制备工艺简单,仅需要在微电子机械系统(MEMS)工艺制备好的Au叉指电极上喷涂...
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