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[学位论文] 作者:卞海蛟, 来源:吉林大学 年份:2003
在不同实验条件下使用射频磁控溅射方法合成了非晶CN膜,并对其进行高温退火,使用Raman光谱、XPS光谱、FTIR光谱、AFM、CSR-01划痕试验机和场发射测试系统对CN膜进行了表征.AF...
[期刊论文] 作者:李俊杰,曹培江,郑伟涛,吕宪义,卞海蛟,金曾孙, 来源:高等学校化学学报 年份:2003
对磁控溅射生长在单晶Si(001)衬底上的CNx薄膜样品的化学键合及结构进行了研究. 利用不同的衬底负偏压(Vb)来控制轰击衬底表面的入射离子能量, 从而影响膜中的化学键合的状态...
[期刊论文] 作者:李俊杰,王欣,卞海蛟,郑伟涛,吕宪义,金曾孙,孙龙, 来源:发光学报 年份:2003
对磁控溅射生长在单晶Si(001)衬底上的CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系进行了研究。CNx薄膜沉积实验在纯N2的环境下进行,衬底温度(Ts)保持在350℃,衬底偏压(Vb)在0~-...
[期刊论文] 作者:李俊杰,郑伟涛,卞海蛟,吕宪义,姜志刚,白亦真,金曾孙,赵永, 来源:物理学报 年份:2004
采用射频磁控溅射方法在纯N2气氛中沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900 ℃.对高温退火引起的CNx薄膜化学成分、键合结构及其场发射特性方面的变化进行研究.用傅里叶...
[期刊论文] 作者:LI Jun-Jie(李俊杰),ZHENG Wei-Tao(郑伟涛),SUN Long(孙龙),BIAN Hai-Jiao(卞海蛟),JIN Zeng-Sun(金曾孙),ZHAO Hai-Feng(赵海峰, 来源:中国物理快报(英文版) 年份:2003
Amorphous carbon nitride films (a-CNx) were deposited on silicon tip arrays by rf magnetron sputtering in pure nitrogen atmosphere. The field emission property...
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