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[期刊论文] 作者:卢立延,刘伟,等, 来源:世界有色金属 年份:2002
文章对大直径表面平整度检测中的纳米形貌概念作了说明,对纳米形貌与平整度、微粗糙度及比较作了叙述,指出了纳米形貌的形成原因及影响。...
[会议论文] 作者:卢立延,孙燕, 来源:1998年全国半导体硅材料学术会议 年份:1998
[期刊论文] 作者:卢立延,曹孜,杜娟, 来源:世界有色金属 年份:2003
随着IC工业的发展,对硅材料的质量提出了越来越高的要求。硅单晶中的非平衡少数载流子寿命(少子寿命)是一个被关注的表征材料性能的重要物理参数。本文通过表面光电压法(SPV)...
[期刊论文] 作者:卢立延,曹孜,孙燕,张果虎,刘伟, 来源:世界有色金属 年份:2002
文章对大直径表面平整度检测中的纳米形貌概念作了说明,对纳米形貌与平整度、微粗糙度及比较作了叙述,指出了纳米形貌的形成原因及影响。In this paper, the concept of na...
[期刊论文] 作者:常麟,周旗钢,戴小林,鲁进军,卢立延,, 来源:稀有金属 年份:2011
利用有限元分析软件对Φ300 mm直拉硅单晶生长过程进行模拟,分析了保持CUSP磁场对称面与熔体坩埚界面交点处的径向分量不变的情况下,硅单晶中氧浓度分别随CUSP磁场通电线圈距...
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