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[学位论文] 作者：原作兰,,
来源：大连理工大学 年份：2016
随着半导体技术不断向着更为细小的技术节点迈进,与其相关的薄膜沉积、光刻、刻蚀、掺杂技术等工艺被要求快速发展,其中更短的曝光光源波长及更大的透镜开口率在实现微细加工...
[期刊论文] 作者：原作兰,刘淑杰,张元良,,
来源：微纳电子技术 年份：2016
针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布。先利用ANSYS有限元软件分析探针Si_3N_4弹性薄膜的...
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