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[期刊论文] 作者:吕晓真,, 来源:法制与经济(下旬) 年份:2012
生态损害作为一种不同于人身损害、财产损害的新型损害,传统环境侵权制度难以对其作出应对。对于生态损害的诉讼主体问题,目前法律上还未有定论。在现行主客二分的法律世界中...
[学位论文] 作者:吕晓真, 来源:厦门大学 年份:2012
近年来,海洋遭受越来越多的污染和破坏,海洋生态损害现象十分严重。我国《海洋环境保护法》第90条2款赋予了海洋环境监督管理部门代表国家向责任者提起损害赔偿要求的权利,但该......
[期刊论文] 作者:田宏,吕晓真, 来源:电子工业专用设备 年份:1999
套刻精度是衡量分步重复投影光刻机的一项重要指标。套刻精度不仅取决于对准系统的对准精度,还受环境,工艺等因素的出提高光刻机整机套刻的精度的几种软件修正处理方法,作考核,取......
[期刊论文] 作者:吕晓真,田宏, 来源:微细加工技术 年份:2000
介绍了0.8~1.0μm分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理,详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法,并给出实际测试结果。...
[期刊论文] 作者:田宏,吕晓真,郭黎, 来源:电子工业专用设备 年份:1999
套刻精度是衡量分步重复投影光刻机的一项重要指标。套刻精度不仅取决于对准系统的对准精度,还受环境、工艺等因素的影响。提出了提高光刻机整机套刻精度的几种软件修正处理方......
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