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[期刊论文] 作者：吴常律,,
来源：真空电子技术 年份：1988
本文提出了一种新的数字扫描方法,用于解决集成电路电子束检测过程中电子探针的控制与定位问题。按此方法设计和调试了有关电路及程序,并在国产电镜上初步实现了电子探针的定...
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