【摘 要】
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本文提出了一种新的数字扫描方法,用于解决集成电路电子束检测过程中电子探针的控制与定位问题。按此方法设计和调试了有关电路及程序,并在国产电镜上初步实现了电子探针的定
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本文提出了一种新的数字扫描方法,用于解决集成电路电子束检测过程中电子探针的控制与定位问题。按此方法设计和调试了有关电路及程序,并在国产电镜上初步实现了电子探针的定位与控制。
In this paper, a new digital scanning method is proposed to solve the problem of electronic probe control and positioning in the process of electron beam inspection of integrated circuits. According to this method, the circuit and the program are designed and debugged, and the localization and control of the electronic probe are realized on the domestic electron microscope.
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