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[会议论文] 作者：吴忠振;肖舒;崔岁寒;马正永;潘锋;,
来源：TFC`15全国薄膜技术学术研讨会 年份：2015
新型超硬涂层的开发和严苛的工作环境，对涂层综合性能及结合力提出越来越高的要求，较高的沉积粒子离化率及其带来的能量可控性成为开发新型涂层沉积技术的目标。现有的阴极......
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