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[期刊论文] 作者：吴祥晟 王雷 达悦 李远 林顾 陈颖 王强,
来源：名城绘 年份：2018
摘要：光刻设备（曝光机）因其单价最贵，精度最高，在TFT-LCD工艺中起着举足轻重的作用。其原理是通过照射特定紫外光源，透过掩膜版并在涂有光刻胶的玻璃基板上光刻形成特定的TFT图案。其主要采用高压水银灯作为紫外光源（图1）。曝光灯为一次性消耗品，更换周期短，价格贵，成本花......
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