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[学位论文] 作者：吴茂阳,
来源： 年份：2011
非晶硅(a-Si)薄膜因其光吸收系数高、容易可控掺杂、可高速大面积沉积、与半导体工艺兼容等优点,在薄膜太阳能电池、TFT-LCD、非制冷红外焦平面阵列、航天遥感遥测等领域具有广阔的应用前景。然而,非晶硅薄膜的电导率较低,特别是其电学性能的稳定性较差,至今没......
[期刊论文] 作者：邱毅娇,李伟,吴茂阳,傅俊威,蒋亚东,,
来源：电子器件 年份：2011
以SiH4和CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积（RF-PECVD）方法,通过改变CH4/SiH4流量比和射频功率制备非化学计量比氢化非晶碳化硅（a-Si1-xCx：H）薄膜。采用傅里叶转换红外...
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