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[学位论文] 作者：周月豪,,
来源： 年份：2005
本文对准分子激光投影直刻微加工和扫描直写微加工的若干特性进行了研究,全文主要内容包括: (1)介绍了准分子激光的微加工特性及其在微加工领域的应用,揭示了准分子激光与金...
[期刊论文] 作者：周月豪,柳海鹏,熊良才,
来源：激光与光电子学进展 年份：2004
介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。The application of laser-induced wet etching tec...
[期刊论文] 作者：周月豪,柳海鹏,熊良才,史铁林,
来源：光学技术 年份：2005
提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加工。对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初步试验,证实在钝化...
[期刊论文] 作者：柳海鹏,周月豪,熊良才,史铁林,
来源：激光技术 年份：2005
采用248nm KrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区.将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了...
[期刊论文] 作者：柳海鹏,周月豪,熊良才,史铁林,
来源：应用激光 年份：2004
采用248nm KrF准分子激光照射电化学刻蚀中的金属阳极,记录过程中阳极电流的变化,对不同金属的阳极电流 曲线进行对比分析,发现在激光作用的时间内,阳极电流显著增大,激光作...
[期刊论文] 作者：马龙, 周月豪, 熊良才, 柳海鹏, 史铁林,,
来源：激光技术 年份：2006
为了得到微米级的微型结构，先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微孔结构，并以此和光刻成型的微结构作为模具，进行了微电铸试验，通过对电镀参数方法进行调整和优化......
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