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[学位论文] 作者：周法权,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2011
随着集成电路制造业的迅速发展,芯片内的刻线宽度作为其工艺特征尺寸已下降到100nm以下量级。半导体刻线加工精度的不断提高对检测设备的测量精度提出了更高的要求。原子力显...
[学位论文] 作者：周法权,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2006
本文在对原子力显微镜的发展状况进行分析和综述的基础上,讨论了原子力显微镜的工作原理、工作模式。阐述了现有的原子力显微镜存在的问题,分析研究了探针结构、系统干扰和压...
[期刊论文] 作者：周法权,赵学增,,
来源：机械工程师 年份：2006
在现有理论的基础上,设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路。介绍了该电路的设计思想,与现有的AFM控制系统相比,X、Y方向的运动采用闭环控制,提高了控制精度。文中还介绍了...
[期刊论文] 作者：王振海,周法权,,
来源：新闻通讯 年份：1989
在铜山县,有一位从1983年以来连续5年被徐州日报、徐州广播电台评为优秀通讯员的新闻爱好者,他就是夹河乡的罗恩远同志。近三年,他在县以上新闻单位录用稿件220多篇。同行称...
[期刊论文] 作者：周法权,林永勇,韦叶,张华德,
来源：2015IFWT焊接国际论坛 年份：2015
为避免加工过程中出现意外的干涉及碰撞情况,在开放式数控系统PA的基础上,针对3PRS并联机构搅拌摩擦焊机床,开发了具有虚拟加工功能的数控系统.虚拟加工功能采用MFC编程并基...
[期刊论文] 作者：赵学增,周法权,李宁,王飞,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2011
串扰效应始终存在于原子力显微镜（AFM）的测量过程中,并影响其测量精度.在对串扰效应的产生机理进行分析,并建立了悬臂梁形变与光斑位置检测器（PSPD）输出信号之间的数学关系的基础......
[期刊论文] 作者：赵学增,李宁,周法权,李洪波,,
来源：光学精密工程 年份：2009
为了满足微电子制造技术中不断提高的刻线边缘粗糙度测量与控制精度的要求，对使用原子力显微镜（AFM）测量刻线边缘粗糙度的影响因素进行了研究。基于图像处理技术从单晶硅刻线样......
[期刊论文] 作者：赵学增,李宁,褚巍,周法权,周瑞,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2009
为了解决微电子制造技术中纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度（line edge roughness, LER）的测量问题，笔者提出了基于平稳小波变换的线边缘粗糙度分析方法．首先，使用原予力显微镜测量硅......
[期刊论文] 作者：刘新波,乔凤斌,周法权,郭立杰,,
来源：机械科学与技术 年份：2016
为了研究超声辅助对铝合金填充式搅拌摩擦点焊的影响,利用ABAQUS对超声辅助填充式搅拌摩擦点焊进行热力学仿真;利用自行研制的点焊装备分别对5A06、2A14、2219铝合金试片进行...
[期刊论文] 作者：赵学增,李宁,褚巍,周法权,周瑞,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2009
为了解决微电子制造技术中纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)的测量问题,笔者提出了基于平稳小波变换的线边缘粗糙度分析方法.首先,使用原子力显微镜测量硅刻线形貌,通过图像处理与阈值方法提取出线边缘粗糙度特征.然后采用基于平稳小波变......
[期刊论文] 作者：周法权,张华德,乔如旺,徐萌,蒋舒斐,
来源：金属加工：热加工 年份：2013
本文介绍了国内首台多功能一体化搅拌摩擦焊设备，设备主轴集成了搅拌摩擦焊和填充式搅拌摩擦点焊双重焊接功能，搅拌摩擦焊功能可实现二维任意曲线焊缝的快速焊接，最大焊接厚度可......
[期刊论文] 作者：林永勇,刘文涛,周法权,韦叶,张华德,,
来源：机床与液压 年份：2015
为避免加工过程中出现意外的干涉及碰撞情况，在开放式数控系统PA的基础上，针对3PRS并联机构搅拌摩擦焊机床，开发了具有虚拟加工功能的数控系统。虚拟加工功能采用MFC编程并基于O......
[期刊论文] 作者：周法权,刘文涛,林永勇,韦叶,张华德,,
来源：焊接技术 年份：2014
针对大型薄壁构件搅拌摩擦焊过程中,焊缝实际位置与程序轨迹容易出现偏差的情况,采用点扫描激光法对焊缝位置进行检测,通过开放式数控系统对数据进行实时分析与处理,得出实际...
[期刊论文] 作者：周法权, 吉华, 邓建峰, 李文晓, 郭伟强, 徐红勇, 洪,
来源：机械工程材料 年份：2019
采用单道和反方向双道搅拌摩擦焊接5083-O(壁板)/6082-T6(筋板)异种铝合金T型接头,研究了其显微组织和力学性能。结果表明:单道焊接头的搭接界面由未焊接区、有效结合区和弱...
[期刊论文] 作者：周法权,廖佳音,林永勇,徐晓霞,郭立杰,张华德,李卫红,,
来源：电焊机 年份：2014
针对大型复杂工件及空间曲面焊接对搅拌摩擦焊接设备的焊接能力的需求,将并联机构与传统串联式设备相混连,成功设计了五轴联动搅拌摩擦焊接机床.通过对3-PRS并联运动头基本结...
[期刊论文] 作者：周法权,廖佳音,林永勇,徐晓霞,郭立杰,张华德,李卫红,
来源：电焊机 年份：2004
针对大型复杂工件及空间曲面焊接对搅拌摩擦焊接设备的焊接能力的需求,将并联机构与传统串联式设备相混连,成功设计了五轴联动搅拌摩擦焊接机床.通过对3-PRS并联运动头基本结...
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