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[期刊论文] 作者：魏仁选,姜德生,周租德,
来源：光学精密工程 年份：2004
为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统。以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激...
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